[태양전지] 고주파 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 코벨라이트 박막의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 코벨라이트 박막을 이용한 박막태양전지
작성일 : 2023.10.20
기술설명
- 산업기술분류에너지·자원
- 6T 분류ET(에너지환경기술)
- 핵심키워드고주파 마그네트론 스퍼터링법, 코벨라이트 박막, 박막태양전지
- 개발기관신라대학교
- 개발자신소재공학과 황동현 교수
- 기술완성도일반 유형 TRL2 개념정립(기초연구단계)
- 기술개요CuS 타겟을 챔버 내의 기판에 장착하는 단계; 상기 챔버를 〖'1.0 × 10' 〗^(-6) 내지 〖'9.0 × 10' 〗^(-6) Torr 초기압력으로 유지하는 단계; 상기 초기압력 설정 후, 〖'3.0 × 10' 〗^(-3) 내지 〖'8.0 × 10' 〗^(-3) Torr 증착 압력으로 유지하는 단계; 및 상기 CuS 타겟을 기판에 증착하여 코벨라이트 박막을 제조하는 단계;를 포함하며, CuS 타겟을 50 내지 70 W의 고주파 전력(RF Power)으로 프리-스퍼터링(pre-sputtering)을 수행하는 단계; 및 상기 고주파 전력을 90 내지 120 W로 변경하여 고주파 마그네트론 스퍼터링을 수행하여 코벨라이트 박막을 제조하는 단계; 로 구성되는 것을 특징으로 하는 코벨라이트 박막을 포함하는 박막태양전지의 제조방법
- 기술 우수성
- -고주파 마그네트론 스퍼터링법으로 육방정계(hexagonal) 결정 구조를 가지며 (110)면 우선 성장 배향성을 갖는CuS(copper sulfide) 박막을 제조하고, 이를 이용하여 현저히 향상된 개방전압(open-circuit voltage; Voc), 단락전류밀도(short circuit current density; Jsc), 충진률(fill factor; FF) 및 전력변환효율(pow
- 적용분야박막형 태양전지 패널 분야
특허
- 발명명칭고주파 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 코벨라이트 박막의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 코벨라이트 박막을 이용한 박막태양전지
- 출원일2022.03.29
- 등록번호10-2381530