한국전기연구원, ‘SiC 전력반도체 이온 주입 평가기술’ 헝가리 이전
- 개발기관한국전기연구원
- 개발자한국전기연구원
- 도입기업헝가리 세미랩(주)
- 기술이전일자비공
- URLhttps://ilyo.co.kr/?ac=article_view&entry_id=458919
기술료 규모
비공개
기술내용
SiC 소재는 딱딱해 아주 높은 에너지로 이온을 주입한 뒤 고온에서 열처리해 활성화해야 하는 등 실제 이온 주입 구현이 어려운 기술이었다. 하지만KERI가 10여년에 걸쳐 쌓아온 SiC 전용 이온 주입 장치의 운용 경험을 통해 관련 기술들을 확보하는데 성공했다.
기타
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